Ellipsometrie
SENTECH SENpro
Die spektroskopische Ellipsometrie ist eine berührungslose und zerstörungsfreie Methode zur Charakterisierung dünner Schichten und Oberflächen.
Mit dieser Technik können Schichtdicken, Brechungsindizes, dielektrische Materialeigenschaften sowie Extinktionskoeffizienten präzise bestimmt werden.
Das Messprinzip basiert auf dem Vergleich der gemessenen Änderung des Polarisationszustands von Licht, das an der Oberfläche einer Probe reflektiert wird, mit einem theoretischen Modell.
Durch die Auswertung der ellipsometrischen Parameter Ψ und Δ können präzise Informationen über die optischen und physikalischen Eigenschaften der Probe gewonnen werden.
Unser SENpro™ misst Ψ und Δ im VIS-NIR Bereich und erlaubt die Messung an einer Vielzahl von Proben, darunter:
- Dünne Filme (z.B.: SiO2, Si3N4, Graphene,...)
- Mehrschichtsysteme
- Halbleiter
- Metalle
- Polymere (Fotoresist, ...)
- ...
Der motorisierte x-y Tisch erlaubt es automatisiert Messungen auf der selben Probe durchzuführen und Messwerte zu "kartieren".
Eine Flüssigkeitszelle ermöglicht in-situ Messungen.
Die Auswerte-Software SpectraRay/4 bietet eine große Anzahl an möglichen Materialmodellen, aus denen sich für die jeweilige Probe ein passendes Modell erstellen lässt.
Anwendungsmöglichkeiten im Überblick
- Schichtdickenmessung
- Bestimmung optischer Konstanten (Brechungsindex und Extinktionskoeffizient)
- Automatisches Abrastern der Probe
Geräteverantwortlicher
Währinger Straße 38-42
1090
Wien
Raum: 3327
E-Mail
+43-1-4277-73813
Nutzung und Nutzungsgebühren
Dieses Gerät kann nach erfolgreicher Einschulung autonom genutzt werden.
Um dieses Gerät Nutzen zu dürfen, müssen Sie folgende Tests ablegen:
- Allgemeine Sicherheitsrichtlinien für Fakultätsmitglieder
- Sicherheit im Labor
| Nutzergruppe | Stundensatz |
|---|---|
| Fakultäten für Physik und Chemie | - |
| Vienna Life Science Instruments | 2,5 € |
| Universitäre Nutzer | 5 € |
| Nicht-Universitäre Nutzer | 10 € |
Für das Training und Messungen, die nicht selbstständig durchgeführt werden (können), verrechnen wir zusätzlich die Kosten für unsere Mitarbeiter.
| Nutzergruppe | Stundensatz Operator | Bemerkung |
|---|---|---|
| Fakultäten für Physik und Chemie | - | |
| Vienna Life Science Instruments | 70 € | 1. |
| Universitäre Nutzer | 70 € | 1. |
| Nicht-Universitäre Nutzer | 100 € |
- Im Rahmen eines Publikationsabkommens entfällt auch der Stundensatz für unsere Mitarbeiter.
Kalender
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Spezifikationen
| Geräteparameter | Wert or Wertebereich |
|---|---|
| Messprinzip | Spektroskopische Ellipsometrie |
| Wellenlängenbereich | 370nm bis 1050 nm |
| Messzeit | <10s |
| Messpunktgröße | 2mm |
| Lichtquelle | Halogenlampe |
| Probendicke | 1nm bis 15µm |
| Goniometer | Diskret 40° bis 85° in 5° Schritten |
| X-Y Kartierung | 50mm Fahrweg |
| Probenhöhe | max. 8mm |
| Probendurchmesser | max. 6" Wafer / 150mm |
| Spektrale Auflösung | 2.4nm FWHM |
Daten können auch auf einem Auswerterechner via Fernzugriff analysiert werden.
Downloads
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